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技術(shù)文章

精密平臺(tái)的好處
精密平臺(tái)：
         平面三自由度精密定位平臺(tái)，包括輸出平臺(tái)、基座、三個(gè)柔順機(jī)構(gòu)、三個(gè)壓電驅(qū)動(dòng)器、三個(gè)驅(qū)動(dòng)器定位裝置、三個(gè)位移傳感器和控制器。本實(shí)用新型由于三個(gè)柔順機(jī)構(gòu)以及三個(gè)位移傳感器沿輸出平臺(tái)中心向外呈 120°角分布，保證了運(yùn)動(dòng)傳遞的無(wú)間隙、無(wú)摩擦、免潤(rùn)滑、高精度性和高穩(wěn)定性，并且提高了輸出平臺(tái)移動(dòng)的直線度；由于采用了柔順機(jī)構(gòu)，不僅使得輸出平臺(tái)能同時(shí)提供X、Y方向平移，Z方向旋轉(zhuǎn)，而且使得輸出平臺(tái)和基座都在同一層次上；精密平臺(tái)采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器作為壓電驅(qū)動(dòng)器，保證了驅(qū)動(dòng)源的高精度運(yùn)動(dòng)輸出和快的響應(yīng)速度，具有納米級(jí)的分辨率和亞微米級(jí)的定位精度，本實(shí)用新型可廣泛應(yīng)用于精密定位領(lǐng)域。
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